- 商品详情
| 申请号：CN201810588414.9 | 发明(设计)人：刘胜; 曹强; 王鹏洁 | 公开(公告)号：CN108987284B | |
| 申请日期：2018-06-08 | IPC分类号：H01L21/425; H01L21/428 | 公开(公告)日期：2019-06-21 | |
| 审核状态：授权 | CPC分类号：H01L21/425; H01L21/428 | 优先权号： | |
| 申请(专利权)人：武汉大学 | 优先权日： | ||
| 专利说明书： | |||
| 申请人地址： 430072 湖北省武汉市武昌珞珈山武汉大学雅各楼 | |||
| 专利摘要： | |||
|
法律状态：
|
|||
